| Original language | Korean |
|---|---|
| Journal | 반도체디스플레이기술학회지 |
| State | Published - 2011.12.1 |
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유입?유출구 크기 변화에 따른 CNT용 CVD 장비 내의 열 및 유동해석
Research output: Contribution to journal › Journal article › peer-review
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| Original language | Korean |
|---|---|
| Journal | 반도체디스플레이기술학회지 |
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